一、实验室简介

辽宁省微电子工艺控制重点实验室是依托渤海大学由辽宁省科技厅2010年8月批准组建的省级重点实验室。该实验室建筑面积1000多平方米，设备总值1000余万元，其中万元以上仪器设备30余台。本实验室以微电子工艺为基础，以计算机技术、自动控制技术、信息检测与处理技术、通信技术、电子信息技术等交叉学科为依托，立足微电子工艺过程的应用技术研究，并与基础研究有机结合，形成一个集科技开发、人才培养、产业化为一体的现代化实验室。该重点实验室通过整合凝练出三个研究方向，分别为：微电子工艺建模与仿真、微电子工艺过程与参数优化、微电子工艺先进控制策略。

二、主要研究内容

1、 微电子工艺建模与仿真。该研究方向主要研究扩散工艺、离子注入、Sio2掩膜生长、刻蚀、合金工艺等的数据驱动建模方法和计算机仿真系统实现。

2、 微电子工艺过程与参数优化。该研究方向主要研究微电子工艺过程优化和微电子工艺参数优化。力求采用数据挖掘技术、最优化方法实施微电子工艺过程与参数优化。如为了提高太阳能电池的效率，优化其工艺参数。

3、 微电子工艺先进控制策略。该研究方向包括微电子动态工艺控制和计算机视觉在线检测。在微电子工艺过程中，研究动态先进控制策略，对工艺条件动态实时调整，获得更好的工艺合格率。研究太阳能电池晶片的在线视觉测量关键技术。

三、人员结构及队伍

本实验室拥有一支学术梯队合理、技术水平较高的科研队伍，实验室成员学历和职称较高，现有博士21人、硕士6人，高级职称24人，中级职称5人。辽宁省教学名师1人、辽宁省百千万人才千人层次1人、辽宁省高校青年骨干教师1人、渤海大学学术骨干5人、渤海大学教学骨干3人。

四、承担主要科研项目

近五年来在国内外权威学术期刊和重要国际会议上，发表有价值的研究论文200 余篇，被SCI、EI和ISTP检索100余篇。承担科研项目80余项，其中主持与参与国家自然科学基金10余项，主持省部级项目40余项，横向课题30余项。获省部级以上奖励2项、其它科研奖励20项。

五、联系方式

电话：0416-3400202

传真：0416-3400203

联系人：郭女士